据报道，日前，牛津仪器（Oxford Instruments Plasma Technology ，简称 “OIPT”）宣布与台湾工业技术研究院（Taiwan’s Industrial Technology Research Institute，简称 “ITRI”）达成合作。牛津仪器将提供包含刻蚀与沉积的 PlasmaPro100多种等离子体刻蚀系统，助力台工研院的 Micro LED 研发项目。

据悉，PlasmaPro100 工艺解决方案是专为支持激光、射频、功率以及先进发光二极管等尖端器件应用设计的。

台工研院自 2009 年起开始开发 Micro LED 技术，于 2018 年和聚积、欣兴电子、錼创展开合作。在台北国际电脑展上，工研院展出了一个 Micro LED 模块。此外，该工研院也在研发用于 AR 应用的 Micro LED 技术。

工研院电子与光电系统研究实验室（Electronics and Optoelectronics System Research Laboratories ）部门副主任 Dr Fang 评论表示，工研院与牛津仪器达成紧密合作并不仅仅是因为牛津仪器拥有前沿的技术。除此之外，研究院做出采购决策还有一些关键因素，包括牛津仪器的应用解决方案、本土工艺支持以及其与产业合作伙伴共同将实验室发展成为生产标准的能力。

牛津仪器战略市场营销经理 Robert Gunn 表示，牛津仪器很高兴选择了工研院作为合作伙伴，通过工研院的 Micro LED 研发项目（类似于三星 The Wall 所用的 Micro LED）共同进入 LED 下一个激动人心的发展阶段。

据介绍，许多研究机构及初创公司采用了牛津仪器的工艺解决方案，工研院成为了其中的最新一员。

编译|LEDinside Janice

封面来源|拍信网正版图库

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