从明代始，“钦差” 一词逐渐取代“使”，成为受皇帝派遣办理事务之人员的称呼。

“钦差” 一词最早出现应该是在元代文献中。关汉卿《感天动地窦娥冤》第四出中提到：“老夫是朝廷钦差带牌走马肃政廉访使。”

“钦差”一词出现在明代官方文献中，最早大概是在洪武、永乐两朝流行的《大诰》中。《御制大诰·皂隶殴旗军第十七》（洪武十八年十一月颁行）云：“苏州府昆山县县隶朱升一等，不听本县官李均约束，殴打钦差旗军，罪至极刑。若旗军纵有赃私，所司亦当奏闻区处，安可轻视。”《御制大诰·皂隶殴舍人第十八》记录了“钦差舍人”。

受皇命临时差遣者，在明代以前多称使，而在明代，“钦差” 一词流行起来。这种转变的原因，大概是自唐代始，使职差遣成为制度后，“使”字更多的成为对常规官职官员的称呼，“钦差”一词本身的含义更能体现君主集权的意义。不过，“钦差”一词在明太祖时期并不常见。在《高皇帝御制文集》中无“钦差” 一词，而多用“特差”一词，特差实际就是钦差。

到了嘉靖年间，“钦差”一词在公文中被广泛使用。刑部郎中雷梦麟在其著作《读律琐言》中说：“钦差”一词属于“第一抬头”之词。