树脂作为光刻胶中最重要的支撑物。树脂有碳化硅、二氧化硅和氧化硅等,生产厂家通常称为光刻胶。一种光刻胶有两种色素,以uv-iii色素为例,可以分为lid色素和wir色素两种,其中树脂包括α橙色素、α蓝色素和β蓝色素。光刻胶也是胶水呀,按类型分光固化胶水(固化硅胶、特氟龙/氟碳胶水)和熔融胶水(uv胶水,玻璃纤维布可作为玻璃膜;uv光固化胶水带有荧光剂)。

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以专用树脂做基料的胶水也属于光刻胶。光刻胶,lasermaskcoating(oretch),顾名思义就是要把染料之类的固体染料固化成光图形。染料本身并不直接参与图形设计。最后固化工艺很复杂,需要先形成树脂层,再去掉碳化硅球心,形成平板的图形设计。有个无聊的数据,光刻胶的花费非常高,比电子器件制造的成本高多了。

可以想象为一个20米长的模型,光刻胶占用20米的空间,而且在小孔洞旁边形成一个个大小不等的毛边。试想一下在聚光灯的照射下。不只有电子元件制造才会用光刻胶,电子光刻的细分可以分成很多,树脂光刻胶(hpl),光固化光刻胶(sln,spch,reelgood等),固化树脂光刻胶(frzx,frz),等等。可以放置一些特殊材料做为基底,各自分工各有适用性。所以就导致了太强的色素会跟设计冲突,又不能加太多的色素适用性不高。

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只是固化这一步必须使用高固化树脂,不然会用极少量基本粒子固化光刻胶,平时同样形式的贴图制作会困难很多。但是要说固化次数,这个不太好算,要看树脂种类,工艺水平等等,但是比如金属离子通常是优先选择的固化材料,第二考虑钙钛矿固化,第三是不利气氛固化。而且固化次数只是固化一次,同样种类相同结构的光刻胶固化次数是一样的。但是tft产业因为一次性大量生产,就会选择钙钛矿产品,第二是spch,第三则是基于smc的产品。

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有人说要用分光镜才行,在cgcs的光刻机,用的光子能量还是比较低的,主要作用还是在固化与提亮,但是将来ic(mcu,soc)设计为多层结构,ccd,cmos之类的设备已经有了双基板的配置,再将cmos积层嵌入到光刻胶里,以保证尺寸的可控,而需要高熔点的工艺就可以放弃了。

当然都是要参数配置说了算,因为光刻胶通常很贵,而且技术先进的设备可以充分利用小型光刻胶提升效率,降低成本,比如光子就可以多次取样,因为取样率通常很高,可以近似光刻胶里的每一个点。我接触的一些设备主要是台湾那边的sic光刻机和蔡司公司的spl光刻机,其中sic的有晶圆环切这样的设备。