光刻机被称为全世界最精密的仪器设备之一，国内就是因为一直买不到世界上最先进的荷兰ASML公司的EUV光刻机，所以中芯国际的7纳米制程工艺迟迟不敢轻易量产，更不敢给华为代工。但近日AMSL的财报也暴露了一台EUV光刻机有多贵，难怪中芯国际不容易买到。首先来看下光刻机是什么？光刻机又名掩模对准曝光机，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。所以，全世界最有名的几个光刻机厂商大多数都出身于拍照业，因为光刻机的原理与拍照冲洗胶卷雷同。
其次什么样的光刻机算好的呢？光刻机本身走各种技术路线，精密度不一样，拍照的曝光系统最核心的部件之一是紫外光源，目前全球最先进的光刻机就是极紫外光（EUV），能适用于3 ~ 15 nm的芯片制程工艺。 2020年10月传出消息称，荷兰ASML公司面向3nm、2nm、甚至1nm工艺正开始研发下一代EUV光刻机，并计划于2022年初开始向下游客户出货。
光刻机价格到底多少呢？1月20日ASML公布的财报显示，2020年ASML全年销售额为139.8亿欧元，累计交付光刻系统258台。在销售额、净利润等方面，ASML在2020年的成绩，均创下5年来新高。其中ASML的31台EUV占据了系统销售额的43%，带来45亿欧元的收入，也就是说每台EUV光刻机平均售价1.45亿欧元，相当于10亿元人民币。
为何这么贵呢？有人买呀，还供不应求，每年荷兰ASML公司的EUV光刻机几乎都要被台积电、三星、英特尔、海力士等抢光，i前段时间曝三星与阿斯麦协商订购EUV光刻机的事，计划到2025年为止购入100台光刻机设备。难怪光刻机价格越来越贵，其实已成为芯片代工巨头竞争的棋子，谁买到了更多的光刻机，谁就能对竞争对手形成壁垒，所以中芯国际迄今一台也没买到。
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