清华大学宣布科研成果，事关EUV光刻机，ASML也没想到会如此之快|euv|清华大学

据相关供应商提供的消息，华为手机今年预计缩减订单高达60%，造成这种情况的主要原因是核心供应链的断裂。台积电与华为终止了合作关系，中芯国际尚无法量产华为急需的高端工艺芯片，导致华为终端缺芯问题较为严重。中芯国际之所以迟迟未能挑战高端工艺制程芯片，主要卡在了荷兰ASML公司EUV光刻机上，虽然这台光刻机已经生产完毕，但是因为特殊原因何时能够到货并不明朗。从某个角度来说，光刻机在一定程度上制约了芯片代工企业的发展进程。

就在这样一个特殊的时期，清华大学却传来了一个关于EUV光刻机的好消息！

清华大学教授唐传祥研究组在《自然》上发表了一篇名为“稳态微聚束原理的实验演示”的研究论文，主要阐述了新型粒子加速器光源“稳态微聚束”的实验。

究竟是什么“稳态微聚束”呢？该技术与EUV光刻机的光源息息相关！随着芯片工艺制程的提升，EUV光刻机对于光源的功率要求逐渐提升，而根据“稳态微聚束”原理制造的光源，能够具有大功率的潜力。也就是说，当前EUV光刻机如果使用了“稳态微聚束”技术的光源，将会突破原有制造芯片工艺的瓶颈，从而挑战更高端工艺制程的芯片。

正是由于技术的特殊性，受到了国内外学术界以及产业界的高度关注。“稳态微聚束”技术或将延长EUV光刻机的生命周期（芯片工艺发展到极致就会面临瓶颈，无法突破该瓶颈只能寻求新的迭代技术来替换），也会给我国高端光刻机生产带来帮助。

荷兰ASML公司总裁曾经对中芯国际供货EUV光刻机发表过自己的观点，一个是国内厂家并不会违反商业道德，复制EUV光刻机；一个是国内厂家并不具备相关的复制实力，毕竟EUV光刻机属于较为精密的设备，共计需要50000个左右的零部件。

相比较而言，光源可以称得上光刻机中所有领域的核心，重中之重！就拿ASML公司为例，之前的光源一直来自于美国的Cymer公司。正是由于光源的特殊性，ASML公司超过61%的高溢价收购了 Cymer公司。无论是ASML公司获得技术的途径、收购的公司、背后的股东等，都与美国有着不可分割的关系。虽然表面上ASML公司总裁对我国表示开放的态度，背后依然会受到美国的限制。

但是令ASML没有想到的事情发生了，清华大学对于光源研发的速度竟然如此之快，甚至在一定程度上超越了Cymer公司（当前EUV光刻机光源的功率约为250瓦，未来势必需要千瓦量级）。如果想要提升自身光刻机的光源，未来与清华大学之间进行合作也不是没有可能。届时，是否会给EUV光刻机的到货打开突破口呢？

国内光刻机制造的企业是上海微电子，根据官方网站给出的介绍来看，当前最高工艺是SSX600系列，能够实现90nm工艺制程。不过据相关媒体报道，上海微电子将会在2021年至2022年交付一天28nm工艺的光刻机（ASML公司的EUV光刻机已经量产5nm工艺芯片，华为麒麟9000就是由台积电使用EUV光刻机代工，可见差距还是相当悬殊）。