5G通信在性能和效率方面具有卓越的性能，极大地推动了移动通信、雷达和自动驾驶等产业的发展；元器件是5G技术研发和产业化的基础和保障，其性能指标直接影响整个系统的性能。

为满足微波毫米波器件的测试需求，提升相关领域的服务能力，电子标准院持续加大对相关领域的研究开发，建成了微波毫米波裸芯片/在片测试系统、5G关键元器件测试公共服务平台、微波毫米波天线测量系统等。

平台现有晶圆测试探针台（含直流和微波）、矢量网络分析仪、Maury负载牵引系统（含有源及无源负载牵引）、半导体参数分析仪、信号源、信号分析仪等重要测试仪器设备60余台/套。

1、微波毫米波元器件裸芯片/在片测试系统（北京亦庄）

图 1 微波毫米波元器件裸芯片/在片测试系统

该测试系统可测器件类型包括微波功率放大器、混频器、滤波器、PIN管开关、微波单片电路（MMIC）、微波分立器件、射频/微波电连接器和TR组件等，可完成8英寸及以下微波裸芯片、封装器件电性能参数测试，测试参数包括直流IV、单端及差分S参数、功率、噪声、1dB压缩点、非线性、包络跟踪（ET）、数字预失真（DPD）、误差矢量幅度（EVM）等参数的测试。

主要技术指标：

ü 矢网主机频率67GHz，可扩频至220GHz，支持脉冲微波测试、110GHz四端口测试（混频、谐波等非线性测试）等；

ü 信号源可扩频至220GHz，功率计可扩频至220GHz，噪声分析仪可以扩频至110GHz，频谱分析仪可扩频至170GHz；

ü 功率负载牵引系统：0.8GHz~110GHz；

ü 噪声负载牵引系统：0.8GHz~50GHz；

ü 固态功率放大器：10kHz~110GHz，1W~400W。

2、5G关键元器件测试公共服务平台（深圳南山）

图 2 5G关键元器件测试公共服务平台

该平台配置了矢量信号源、矢量信号分析仪、矢量网络分析仪、半导体精密测试系统、微波探针台等高端电性能测量测试设备，建立了包括放大器、混频器、滤波器、检波器、射频前端模组等5G关键元器件性能参数测试能力。

主要技术指标：

ü 频率范围：100kHz~43.5GHz；

ü 矢量调制带宽：512MHz；

ü 支持eMTC、NB-IoT等5G相关通信协议；

ü 支持的测试参数：增益、增益平坦度、带宽、效率、功率附加效率、动态范围、三阶交调、1dB压缩点、输入/输出功率、邻道功率泄露（ACLR）、误差矢量幅度（EVM）、数字预失真（DPD）、包络跟踪（ET）等。

3、毫米波天线平面近场测量系统（深圳南山）

图 3 毫米波天线平面近场测量系统

该系统测量范围覆盖600MHz～110GHz全频段，可实现对天线辐射性能的全面测量，可为天线研发、制造、应用等相关机构提供一站式天线测量服务。

主要技术指标：

ü 测试频段：600MHz~110GHz；

ü 测试参数：天线增益方向图、天线增益、半功率波束宽度、旁瓣、交叉极化比、天线相位、天线阻抗/电压驻波比等；

ü 支持被测天线：600MHz~110GHz，天线口径≤0.5米的各类型天线；

ü 测试标准：天线测试方法 IEEE Std 149-2008；移动通信天线通用技术规范 GB/T 9410-2008。

4、微波毫米波天线球面扫描测量系统（北京亦庄）

图 4 微波毫米波天线球面扫描测量系统

该系统测量范围覆盖750MHz～40GHz全频段，可实现对天线辐射性能的全面测量，可为天线研发、制造、应用等相关机构提供一站式天线测量服务。

主要技术指标：

ü 测试频段：750MHz~40GHz；

ü 测试参数：天线增益方向图、天线增益、半功率波束宽度、旁瓣、交叉极化比、天线相位、天线阻抗/电压驻波比等；

ü 支持被测天线：750MHz~40GHz，天线口径≤0.5米的各类型天线；

ü 测试标准：天线测试方法 IEEE Std 149-2008；移动通信天线通用技术规范 GB/T 9410-2008。

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