2021年4月16日，国家领导和法国总统马克龙、德国总理默克尔在北京举行了中法德视频峰会。三国领导人对应对气候变化、抗疫合作、中欧关系以及重大国际和地区等问题进行了深入的讨论。在领导层发言中，中方表示已决定接受《基加利修正案》，并加强氢氟碳化物（HFCs）等非二氧化碳温室气体管控。

中国作为HFCs生产以及消费大国，到2050年中国削减HFCs可带来将近300亿吨二氧化碳的气候效益，这可以为全球降温0.5摄氏度贡献出三分之一的力量。

打开网易新闻 查看精彩图片

据悉，《基加利修正案》最终确定了包括C4H2F6、CH3F、C3H2F6在内的18种氢氟碳化物（HFCs）受控物质。六氟异丁烯（C4H2F6）是一种用于半导体的前段刻蚀的低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体；高纯一氟甲烷（CH3F）是一种绿色、高效的蚀刻气，它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜，可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中；六氟丙烷（C3H2F6）是一种应用于半导体前段刻蚀的新型干法刻蚀气体。三氟甲烷要求尽量全部替代，国内某企业已经开发出了用作集成电路中蚀刻气体的HFC-236fa和HFC-236ea，液化空气曾申请了一项名为“用于蚀刻多层膜的化学方法”的专利，该专利公开了制造3D NAND闪存所用的新型刻蚀气体的方法，所需的氢氟碳酸蚀刻气体包括HFC-236fa，HFC-236ca，C3HF7和iso-C3HF7等。

气体圈子是中国气体行业具有公信力的专业平台，一年一度的气体产业大会聚焦行业时下热点和最新技术发展，是中国气体行业发展的风向标。美国Electronic Fluorocarbons，LLC（EFC）是全球知名的高纯度氟碳气体供应商，该公司副总裁Matt Adams将在2021第六届国际气体产业大会发表专题报告《〈蒙特利尔议定书〉对电子特气行业的影响》，将详细讲解HFCs类电子特气在半导体制造中的应用，以及《基加利修正案》对特种气体市场的影响，如何建立可持续发展的商业关系以保障特气业务持续开展？本次大会包括日本关东电化和大金化学在内的多家氟化工企业高层出席。