因摩尔定律受限。探索、寻求一种新的半导体原材料,成为未来半导体行业能否继续向前推进的重要前提。在此背景下,国产厂商突破技术瓶颈,成功量产出代表新一代半导体技术革命的“8英寸氮化镓晶圆”。

我是柏柏说科技,资深半导体科技爱好者。本期为大家带来的是:大陆半导体厂商量产8英寸氮化镓晶圆。量子芯片、石墨烯晶圆难以投产、商用的原因。

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2021年6月5日,坐标:苏州市吴江区汾湖高新区英诺赛科半导体有限公司举办量产暨研发楼奠基仪式,庆祝8英寸氮化镓晶圆量产成功。

据了解,到2021年年底,英诺赛科的晶圆产能每月可达6000片,这只是英诺赛科的第一期投产目标。到项目完全投产后,英诺赛科的年产能将达到78万片,年产值达120亿元。

氮化镓晶圆是什么呢?其重要性和意义有多大呢?在此之前,为大家科普一下半导体发展的历史。

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截至目前,半导体材料共分两代,第一代材料是“元素半导体”,例如硅基、锗基半导体。由于硅元素属性稳定、储量大、且技术也比较成熟,业界往往将硅基半导体作为元素半导体的总称。即“硅基半导体是第一代半导体材料”。

对比第一代半导体材料,第二代半导体材料则比较复杂,第二代半导体材料化合物半导体。本文要讲的氮化镓晶圆,属于第二代半导体材料。与第一代半导体材料相比,第二代材料的应用范围更广、所制成产品的性能、质量也更佳

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与硅基半导体相比,代表第三次半导体技术革命氮化镓,所制成产品具备耐高温、高功率、低功耗、制程损耗低的优势。补充一点:半导体材料分为两代,半导体技术分为三代。锗基、硅基半导体属于第一代、第二代技术。目前半导体领域处在第二代技术阶段,第三代技术以氮化镓、碳化硅为主体。

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英诺赛科成功量产8英寸氮化镓晶圆,将加速我国半导体行业与第三代半导体技术的对接,缩短与国外未来半导体技术的差距。在经历70多年后,硅基材料的潜力已经被充分挖掘,后劲明显不足。因此,以氮化镓、碳化硅为代表的第三代半导体材料,将会成为引领未来半导体行业的基础原料。

我国成功量产出适用于芯片生产的8英寸氮化镓晶圆,为第三代半导体技术的到来做好准备。但有一点需要注意,8英寸氮化镓晶圆成功量产,并不能解决我们当前被EUV光刻机卡脖子的问题。换句话说,我们要想生产出先进制程的芯片,依旧需要EUV光刻机。不仅仅是现在,未来也是一样。

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8英寸氮化镓晶圆量产成功,其意义是为第三代半导体革命的到来做好准备,至少在芯片原料上不会被国外卡脖子。实事求是地说,有关“另辟蹊径、避开光刻机的说法是靠不住的”。拿量子芯片、石墨烯碳基芯片举例。

与硅基、氮化镓等元素、半金属元素相比,量子芯片是一种新的概念。从制程上来看,量子芯片的确可以规避光刻机制造,而且我们也在实验室阶段验证了量子芯片的可行性。但问题是,我们并没有可以配合量子芯片生产的基础建设。不只是量子芯片,石墨烯碳基芯片也是一样。

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想要绕开光刻机,我们所付出的时间、精力是巨大的。且不说能否成功,单是成本,便会难倒大批厂商。即便是解决了资金、技术、设备投产等因素,如何规避产品的潜在性问题也是一件很棘手的事情。

尽管我们在光刻机领域中比较落后,但至少有一定的技术基础。比起从零开始,继续攻克光刻机难题是最好的选项。等到时机成熟,再去寻找一种新的可行方式,寻求持平、赶超的机会,显然更好。

此外,实验室所具备的环境、设备,并不能和代工厂的环境、设备相提并论。即便是台积电,也不敢保证自己的代工厂环境可以媲美实验室。量子芯片、石墨烯晶圆只是在实验室中试验、量产成功。代工厂商想要实现石墨烯、量子芯片的量产。设备、环境、技术都要跟上。这便是量子芯片、石墨烯芯片难以投产的原因。

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与量子、石墨烯概念不同,氮化镓、碳化硅等半金属元素,是业界公认的第二代半导体原材料。这是因为氮化镓与硅基半导体之间的制程差异并不是很大,两者之间存在连接性。这也是英诺赛科能够大规模量产8英寸氮化镓晶圆、并将其投入使用的原因。

目前我国的光刻机制程已经达到28纳米,芯片代工制程达到10纳米(中芯国际)。有关于28纳米以下制程的光刻机,上海光机所目前正在进行13.5纳米光源的研究,光镜方面长春光机所、清华团队、哈工大正在研制中。双工件台方面有北京华卓精科。我们距离先进制程光刻机的脚步可不是很远。

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祝愿国产半导体愈发强大,屹立于世界半导体领域永恒不倒。

对于我国成功实现氮化镓8英寸晶圆的量产,大伙有什么想表达的呢?我们能否在第三代半导体技术中实现持平美国半导体行业的目标呢?欢迎在下方留言评论。我是柏柏说科技,资深半导体科技爱好者。关注我,带你了解更多资讯,学习更多知识。