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日前晶圆代工厂三星电子宣布,3 纳米闸极全环晶体管(Gate-all-around,GAA)制程成功流片,晶圆代工龙头台积电也预计 2 纳米采用 GAA 制程技术,现在两家全球制程最先进的晶圆代工厂,不仅要比技术力,还将把竞争范围扩及专利。

南韩媒体《BusinessKorea》报道,台积电三星陆续宣布导入 GAA 制程后,南韩知识产权局日前宣布,近期与 GAA 制程相关专利数量快速增加。半导体主流的鳍式场效晶体管 (Fin Field-Effect Transistor,FinFET) 制程专利申请 2017 年达巅峰 1,936 件,到 2020 年,申请数量下滑到 1,503 件。但 GAA 制程专利申请由 2017 年 173 件,到 2020 年增加一倍达 381 件。

厂商申请 GAA 制程专利数量,台积电占 31.4%,其次是三星 20.6%,第三为 IBM 10.2%,格罗方德以 5.5% 排名第四。可看出台积电 GAA 制程专利数量较其他厂商多。

三星先前说法,相较 5 纳米制程,3 纳米 GAA 制程逻辑芯片面积微缩可达 35%,功耗也降低 50%,运算效能提高约 30%,可为更多应用提供更强大的运算效能。