扩散泵是以高速蒸汽射流为输送介质泵送气体的装置。因为气体阻止蒸汽流中的扩散，并且倾向于沿着蒸汽流移动。
原理
扩散泵是一种真空泵，它利用伞状喷嘴喷出的高速工质蒸汽射流，将泵送的气体扩散到蒸汽射流中，从而实现抽真空。电加热器(电炉)加热泵腔(油底壳)内的液体工质，使其变成蒸汽；蒸汽通过安装在泵腔内的泵芯喷嘴高速喷出，形成低密度、高速的蒸汽射流。泵送的气体通过扩散进入蒸汽射流，被下一级蒸汽射流带走，被上一级泵排出，而工作蒸汽则到达水冷泵壁，冷凝成液体，沿泵壁流回油底壳。它在油盘中被重新加热，变成油蒸汽。这种重复的工作形成了扩散泵的正常泵送过程。
起源
盖得于1913年9月25日在德国申请了专利。利用水银蒸汽流产生高真空的装置。他指出，高真空是通过扩散获得的。因此，这种泵被称为扩散泵。根据前苏联的文献报道，这种泵最早是由俄罗斯学者巴洛维克于1912年在彼得堡物理研究所提出的，1913年，俄罗斯学者巴甫洛夫利用这种泵对气体分子碰撞进行了研究工作。现代扩散泵是经过几代人不断研究、改进和创新的结果。
优缺点
优点：结构简单、无运动件、噪音很小、使用方便、维护容易、在高真空段有较大抽速，单位抽速所需制造成本较低等，因此，其应用面很广。
缺点：返油、能耗高、热效率低。提高加热效率、降低能耗、降低返油率是多少年来扩散泵需要解决而至今尚未完全解决的主要问题。
分类
工作液：油扩散泵和汞扩散泵
材料：金属扩散泵和玻璃扩散泵
泵体形状：直腔式扩散泵和凸腔式扩散泵
工作范围：高真空扩散泵、超高真空扩散泵、增扩泵
加热器放置位置：内加热泵、外加热泵
如何提高扩散泵性能质量？
(1)国内扩散泵厂家众多，型号和尺寸不统一。大型泵越来越大，而小型泵很少生产。此外，泵的整体性能没有考核指标。行业要定期进行检查，提高性能和质量，组织厂家做更多的改进工作，为用户配套方便。
(2)泵的结构:为了减小尺寸和重量，保证零件的加工精度，可以增加级数，提高4×10-1Pa时的泵送能力。给出了几种常用泵送气体的泵送能力。
(3)添加附件。例如，设置挡油盖和过热保护装置(冷却水温度、水压和泵油温度的在线测量和自动保护)。自动切断和复位)。出口压力监控。
(4)规定最大、最小油量和油耗(如0.5~0.7 g/h等。).观察油位，以便用户及时加油。从观察窗看泵油变质情况，及时更换。
(5)给出合适的前级泵容量。
(6)为节约能源，加热功率应可调，泵应快速启动并冷却至停止，以提高设备的运转率。
(7)给出各种泵送气体的性能曲线，最好是一些气体的压缩比(方便用户选择)。
(8)用微机控制运行和故障诊断。
(9)密封处应选用高质量、低透气性的橡胶圈。
(10)给出各种泵的回油率限值，进一步降低回油率，扩大油扩散泵的应用。油扩散泵的工作压力范围很宽(低于1~10-5Pa)。与其他高真空泵相比，它具有更高的可靠性和更低的成本。只有少数零件需要维修。泵内无运动部件，运行中可更换加热器。或者硅油的蒸汽压为10-9 ~ 10-10托，在室温下使用合适的挡板或捕集器可以获得10-10托或更低的压力。
扩散泵是获得高真空最广泛使用的工具之一。扩散泵是二级泵，因为泵前需要一个机械泵。扩散泵油在真空中被加热到沸腾温度(约200℃)，通过高速射流喷嘴的水平导流管，产生大量的油蒸汽。因为扩散泵的入口气体以高于周围气流的蒸气压的气压被泵入喷嘴。
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