说到扩散硅压力传感器,就不得不提到一个叫斯密斯的英国人,就是他发现了扩散硅材料的压阻效应,为了压力传感器的生产奠定了理论基础。
扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯通电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。
扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,传感器的电阻值发生变化,用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
扩散硅压力传感器广泛应用于供/排水、热力、石油、化工、冶金等工业过程现场测量和控制。
要选出一款合适的传感器需要根据压力类型、量程大小、输出范围、精度指标、尺寸大小等要求,以及温度和出线形式、特殊使用工况和重量等等多种要求。
炜盛科技WPAK63系列是采用高精度进口扩散硅压力敏感芯片和成熟的生产工艺封装而成的压力芯体,是制造压力传感器及压力变送器的核心部件,作为一种高性能的压力敏感元件,可以方便地进行放大处理,装配成标准信号输出的变送器。
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