美国制裁芯片，俄罗斯决定开造先进制程光刻机！|euv|x射线|俄罗斯|光刻

俄罗斯将研发当前全球最先进的X射线光刻机，或许比ASML的EUV光刻机性能更先进。

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本文内容来源于量子位、芯师爷等

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近日，据俄罗斯媒体报道称：俄罗斯将研发当前全球最先进的X射线光刻机，或许比ASML的EUV光刻机性能更先进。

没错，被美国全方位芯片制裁后，俄罗斯要造先进制程光刻机了！

众所周知，光刻机是半导体行业的明珠，美国希望在这个领域牢牢掌握主动权，因此对中俄等均进行严格的限制和制裁。目前，全球仅有一家公司阿斯麦尔“ASM”有能力生产最先进EUV级别的光刻机。

据ASML年报数据显示，2021年ASML的总净销售额为186亿欧元，其中63亿欧元来自42个EUV系统。有网友戏称EUV系统为ASML的“印钞机”。

ASML年报

俄罗斯要造光刻机的消息一出便引起了网友们的热议：

一方面，网友们表示：“这次俄罗斯的计划有人（俄罗斯莫斯科电子技术学院 (MIET)承接了贸工部开发制造芯片的光刻机项目）、有钱（该项目由俄罗斯政府首期投资6.7亿卢布资金）、有目标（研发的光刻机计划达到EUV级别），看起来像那么回事。”

另一方面，网友则表示不看好：造光刻机之难，难于上“青天”，俄罗斯确定不是在开玩笑？

值得注意的是，就在此消息放出前，美国财政部也宣布对俄罗斯科技和网络相关的实体与个人实施制裁，措施包括冻结在美所有资产。

根据美国财政部网站显示，本次制裁涉及21个实体和13名个人，其中包括总部位于俄罗斯首都莫斯科的OOO Serniya Engineering (Serniya) 、俄罗斯最大芯片制造商米克朗控股公司(Joint Stock Company Mikron，简称“Mikron”)、软件和通信技术公司AO NII-Vektor和计算机公司T-Platform、MERI等。也就是说，俄罗斯为数不多的几家芯片厂已被全方位制裁。

今天，小编带大家分析俄罗斯是否能研发出先进制程光刻机？

投资6.7亿卢布

据报道，俄罗斯莫斯科电子技术学院 (MIET)承接了贸工部开发制造芯片的光刻机项目，该项目由俄罗斯政府首期投资6.7亿卢布资金（约合5100万元人民币）。研发的光刻机计划达到EUV级别，但技术原理完全不同，是基于同步加速器和/或等离子体源”的无掩模X射线光刻机。

MIET已经在无掩模EUV光刻领域取得了进展，包括与国内其他科研机构和科学家团体联合开展的研究。该项目还将涉及 Zelenograd 公司 ESTO 和 Zelenograd 同步加速器，现在是国家研究中心库尔恰托夫研究所的技术储存综合体 (TNK) Zelenograd。

“基于在该国运行和发射的同步加速器，特别是在 TNK Zelenograd 的同步加速器以及国内等离子源的基础上，创造技术和设备，将使处理具有设计标准的半导体晶片成为可能28 nm、16 nm 及以下，”声明说。招标文件包含这项研究工作（研发）的要求。“无掩模X射线纳米光刻技术和正在开发的设备在国内和世界上都没有类似物”。

工贸部与MIET签订的合同价格为 6.7 亿卢布。

“我们谈论的是长期的研发工作，从好的方面来说，这应该在 15 年前就开始了”。关于这个项目的 Stimulus 杂志出版物的作者 Alexander Mechanik说。

俄罗斯光刻机技术

目前，EUV光刻机全球只有ASML公司能够研发、生产，但它的技术限制也很多，俄罗斯计划开发全新的光刻机，使用的将是X射线技术，不需要光掩模就能生产芯片。

光刻机的架构及技术很复杂，不过决定光刻机分辨率的主要因素就是三点，分别是常数K、光源波长及物镜的数值孔径，波长越短，分辨率就越高，现在的EUV光刻机使用的是极紫外光EUV，波长13.5nm，可以用于制造7nm及以下的先进工艺工艺。

技术优势

X射线光刻机使用的是X射线，波长介于0.01nm到10nm之间，比EUV极紫外光还要短，因此光刻分辨率要高很多。此外，X射线光刻机相比现在的EUV光刻机还有一个优势，那就是不需要光掩模版，可以直写光刻，这也节省了一大笔费用。

正因为有这么两个特点，俄罗斯要研发的X射线光刻机优势很大，甚至被当地的媒体宣传为全球都没有的光刻机，ASML也做不到。

从相关资料来看，全球确实没有能达到规模量产的X射线光刻机，不过这种技术并不是现在才有，不仅美国、欧洲研究过，国内也有科研机构做了X射线光刻机，只是生产芯片的效率跟ASML的光刻机不能比的，只适合特定场景。

不过俄罗斯在X射线及等离子之类的技术上有着深厚的基础。比如国立研究型大学“莫斯科电子技术学院”简称莫电子（МИЭТ，MIET），是俄罗斯的一所国立研究型高等院校，1965年建校。特色学科为微电子学、信息技术和计算机工程。

据官方介绍：“MIET”是俄罗斯高科技领域领先的技术大学。现代实验室、对教育过程的全新认识以及教育、科学和工业的独特整合，使 MIET 成为微电子和纳米电子、电信和信息技术领域培训专家的领导者。

2002年，MIET中主要从事纳米电子器件研究的研究中心成立。研究领域覆盖X射线器件、微机电系统和纳机电系统——这些技术都与研发光刻机密切相关，并且已经开展了部分研究，比如“基于微聚焦X射线管列阵的软X射线源研制，适用于10nm无掩膜光刻机”，就是其中之一。此外，早在2010年，ASML出货第一台预生产的EUV光刻机时，俄罗斯一个物理研究所IPM（RAS）也在开发EUV的系统及元件，以及装置原型的搭建。

综上可见，从理论基础这一角度来看，俄罗斯搞光刻机这事儿也不能说完全不靠谱。

成功概率有多大？

俄罗斯的半导体芯片产业并不发达，但是并不代表俄罗斯的科技能力差。众所周知，俄罗斯拥有全世界最顶尖的数学人才，华为俄罗斯研发中心都聘请了数名顶尖俄罗斯数学家，坊间盛传当年华为3G技术的突破就是得益于一位俄罗斯数学家“小哥”的SingleRAN 算法。

因此，尽管业界并不看好俄罗斯研发UV光刻机的前景，但有着丰富技术人才的俄罗斯并不是不可能，况且，俄罗斯真金白银投资6.7亿卢布资金（约合5100万元人民币），对于发达国家来说虽然很少，但首期投入这么多资金，对于俄罗斯的薪资水平和试验设备来说是不低的。

同时，如果俄罗斯真的投入研发，很多其他国家，或许会加入俄罗斯的光刻机研发之中，以打破欧美对于最先进芯片技术的垄断。

但另一方面，前文提到俄罗斯芯片制造商们，已经被美国制裁得差不多了。不仅是最大芯片制造商Mikron，另一家制造商Angstrem-T甚至已经破产了一次。还有设计厂商Baikal Electronics、MCST等等都被制裁折腾了个够呛，在“实体名单”里进进出出……

更为深入的影响，还体现在人才上。据报道，自俄乌冲突以来，已经有多达7万名IT技术人员离开了俄罗斯。俄罗斯通讯协会方面也承认了这一事实，并表示在4月时，离境的IT人员数量可能会达到10万人。或许，俄罗斯未来需要担心的不是资金，而是人才的回流。

不过俄罗斯官方也一直有所应对。除了前文提到的投入重金研发光刻机外，最近路透社报道，俄罗斯正在转向中国的微芯片制造商寻求供应，主要是为了解决其本土MIR支付系统相关的银行卡需求。

1、不卖EUV给中国大陆，ASML将少赚多少钱？

https://mp.weixin.qq.com/s/P4lVRMIa6toV-pWNlpsclQ

2、美国断供芯片，俄罗斯决定从头开造光刻机

https://mp.weixin.qq.com/s/1-7R3KUvIekwyrir82xK2Q