文章转载自“芯极速”
又一家国产半导体核心设备厂商正奔赴科创板。
继纳芯微230元高价发行之后，半导体行业今年迎来了第二只百元高价新股。
5月25日，华海清科公告，此次科创板上市发行价136.66元/股，对应发行市盈率127.9倍。
近日，天津监管局披露了国泰君安证券股份有限公司关于华海清科股份有限公司（以下简称“华海清科”）首次公开发行股票并在科创板上市辅导工作总结报告。
资料显示，华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（即Chemical Mechanical Polishing，简称 CMP）设备。
CMP设备主要依托CMP技术的化学-机械动态耦合作用原理，通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合作用，实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化。CMP是先进集成电路制造前道工序必需的关键制程工艺，华海清科所生产CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线。
● 脱胎于清华大学，国资系股东云集
作为目前国内唯一能够实现量产12英寸CMP设备的高端半导体专业设备供应商，华海清科近三年研发投入累计达22,264.11万元，占同期营业收入比例15.88%。
成立以来，华海清科与清华大学在CMP领域开展了深入的产学研合作，截至2021年12月31日，公司共拥有209项专利，其中107项系与清华大学共有。
截至招股书披露，清控创投直接持有公司30067237股股份，占公司总股本的 37.5840%，为公司控股股东，公司实控人为清华大学。
截至本招股说明书签署日，公司国有股东包括清控创投、科海投资、国开科创，其持股数量及持股比例如下表所示：
● 国内唯一12英寸CMP设备供应商！实现进口替代
CMP设备有多重要？据了解，今天生产的每块微处理器都使用铜连线，而唯一能够对铜金属层进行抛光的CMP设备更是任何芯片制造商不可或缺的必备工具。
但与半导体设备光刻机类似，CMP设备此前也面临着“卡脖子”的窘境。随着前期CMP设备厂商的“厮杀角逐”，市场格局逐渐集中在2018年的两大国际龙头企业——美国应用材料和日本荏原，前述两家公司的市场份额在2018年合计达到90%。
因此，尽管2019年大陆CMP设备市场规模达4.6亿美元，但绝大部分的高端CMP设备仍然依赖于进口。
那么，对于生产CMP设备的厂商而言，如何才能衡量一个厂家CMP设备研发技术水平？《科创板日报》记者在招股书中找到一个答案：12英寸CMP设备是业界公认的衡量研发技术水平高低的标杆产品。
按照上述标准去衡量，除美国应用材料和日本荏原外，华海清科是目前国内唯一实现 12 英寸系列CMP设备量产销售的半导体设备供应商。
据了解，华海清科的CMP设备主要包括300系列和200系列，CMP200系列主要包含8英寸CMP设备，300系列则涉及12英寸CMP设备。
另据招股书显示，华海清科生产的12英寸系列CMP设备已获得了多个集成电路制造商的认可。2020年1-9月，中国国际招标网上公布共招标采购68台CMP设备，其中华海清科中标28台，占比41.18%；12英寸CMP设备的其余市场份额由美国应用材料、日本荏原取得。
截至招股书披露，华海清科CMP设备已累计出货43台，在手订单26台，其设备已经应用在中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外集成电路制造商的大生产线中。
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