1.空气交换率:1m3/h,±5% 压力:10±5Pa
2.空气流速:0.1m/s~0.3m/s(连续可调),精度≤0.05m/s
3.气密性:舱门具有自密性。密闭性能满足:
① 在1kPa正压(表压)时,舱内空气泄漏率少于10-3*1M3/min;
② 进出口气体流量差小于1%。
1.空气交换率:1m3/h,±5% 压力:10±5Pa
2.空气流速:0.1m/s~0.3m/s(连续可调),精度≤0.05m/s
3.气密性:舱门具有自密性。密闭性能满足:
① 在1kPa正压(表压)时,舱内空气泄漏率少于10-3*1M3/min;
② 进出口气体流量差小于1%。
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