惯性开关是一种利用惯性力来实现开关功能的传感器,是将机械和电子统一结合的产物。最早的惯性开关被用来关闭电动燃油泵,避免燃油泵在发生碰撞或翻转后继续工作。但是,传统的机械惯性开关由于阈值精度比较差,可靠性比较低,在很大程度上限制了惯性开关的应用。

随着传感器微型化趋势的增长,MEMS惯性开关的研发受到了更大的重视。MEMS惯性开关又称为冲击传感器、阈值开关、加速度开关,是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在汽车电子、物联网和消费电子等领域有着广泛的应用前景。由于惯性开关具有在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控等电量有限的应用场景下有着明显的优势。例如,可将MEMS惯性开关附着到可穿戴的衣物上面,在人摔倒时开关闭合,可触发无线报警系统,以便及时通知医院采取救治。

MEMS惯性开关作为一种“近零功耗”的传感器件,也可以用来监测特殊货物运输过程中可能发生的冲击碰撞。在货物的运输过程中,一旦环境受到超过其阈值水平的振动冲击时,惯性开关能够实现瞬间机械闭合,输出接通脉冲信号,然后无线发送到信息控制中心,以实现对整个物流过程的实时监控。

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那么,何为阈值?“阈”的意思是界限,故阈值又叫临界值,是指一个效应能够产生的最低值或最高值。阈值在自动控制系统中能产生一个校正动作的最小输入值,刺激引起应激组织反应的最低值。由此可见,对惯性开关阈值的准确测定,对于MEMS惯性开关的灵敏度和稳定性有非常大影响。

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北京智芯传感科技有限公司(简称:智芯传感)经过多年的实践和反复地试验,为MEMS惯性开关寻找到了“惯性冲击开关阈值的试验方法”,该方法被国际电工委员会((International Electro-technical Commission ,IEC)认定为国际标准,编号为:IEC 62047-40:2021。

IEC是世界上成立最早的非政府性国际电工标准化机构,是由所有国家电工委员会组成的世界性标准化组织。IEC标准与我们广为熟知的ISO标准一样,都是被国际认可的行业标准,IEC负责有关电工、电子领域的国际标准化工作。

智芯传感的“惯性冲击开关阈值的试验方法”所适用的工况是在试验场地的大气压力下,温度范围在-20°C至50°C之间,相对湿度为20%~80%。

对于静态阈值,智芯传感提出了两种不同的试验方法:

第一种方法:试验系统由离心机、开关、开合试验回路和状态指示灯四部分组成。

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测试程序是在离心机上装配开合试验回路和状态指示器,在开合试验回路上装配开关,保证离心加速度方向为开关感应方向;接着,施以激发电压,复位开合测试电路,状态指示灯指示闭合状态,并根据产品静态阈值设计,给离心机一个等于设计值A11的加速度。

如果状态指示灯显示为关闭状态,则以传感器精度的速度从A11降低到A12,并记录指示灯状态;逐步降低加速度,直到状态指示灯显示为打开状态,则前一个加速度为最大静态阈值,当前加速度为最小静态阈值,如下表所示,其中a1 = A15, a2 = A14;

如果状态指示灯显示为开启状态,则以传感器精度的速度从A11增加至A21,并记录指示灯状态;逐步提高加速度,直到状态指示器显示为关闭状态,则前一个加速度为最小静态阈值,当前加速度为最大静态阈值,如下表所示,其中a1 = A41, a2 = A51。

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第二种方法:测试系统包括离心机、参考加速度计、开关、开合测试电路和无线采集系统五部分。

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测试程序是在离心机上组装无线采集系统(数据可实时无线传输或存储)和开合测试电路(如下图所示)在开合测试电路上组装开关;同时,在与开关半径位置相同的离心机上装配参考加速度计,使开关和参考加速度计的敏感方向与离心加速度方向一致。

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根据传感器静态阈值设计值,施加激励电压,给离心机一个等于设计值的加速度。按技术要求对试验过程中的数据进行采样,并对参考加速度计和负载电阻的电压输出进行采样。这些输出数据点在采集系统中成为两条同步输出曲线,并在负载电阻曲线电压输出上获取跳点(如下图所示)。如果曲线上没有跳点,根据实际需要增加离心机的加速度。

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从上图中的跳点出发,利用下列公式计算每个样本点对应的开关接触电阻。当开关接触电阻满足技术指标时,参考加速度计对应的输出为静态阈值。与试验方法1相比,试验方法2可以获得更准确的静态阈值。

Us为激励电压,单位为伏特;

RL为负载电阻,单位为欧姆;

R为接触电阻,单位为欧姆;

URL为负载电阻的电压,单位为伏特

在“惯性冲击开关阈值的试验方法”中,智芯传感不仅对静态阈值的测量试验方法给出了解决方案,还对动态阈值也给出了试验步骤和方法,由于篇幅所限,不再做详细介绍。如有需要,请参见www.iec.ch/members_experts/refdocs

近年来,智芯传感在MEMS传感器理论与实践方面建树颇丰,不仅在擅长的压力传感器细分领域有深入的研究与创新,而且在其他相关领域亦有所突破,已成为国内MEMS传感器的佼佼者之一。