碳化硅切割专用金刚线
近日,河南黄河旋风股份有限公司碳化硅切割专用金刚线锯研发取得突破,经多家客户使用,其产品性能已完全达到甚至超过日本同类产品水平,不论在切割效率、切割质量还是切割稳定性,均全面优于现有砂浆切割水平。
近年来,以氮化镓、碳化硅为代表的第三代半导体产业发展迅猛,国家高度重视,企业积极布局,整个行业呈现爆发式的增长势头。碳化硅材料作为第三代半导体之一,具有优异的性能,同时也具有难加工的特点,其超高的硬脆性特点导致加工难度大、风险高、效率低、良品率不高,尤以切割为难点。目前市场上主要以金刚石砂浆切割为主,切割速度慢,效率低,砂浆利用率低,成本居高不下,砂浆用微粉供应已达极限,固结金刚线替代砂浆切割已成必然趋势。
目前市场上能够稳定供应的碳化硅切割线仅有日本某企业,在美日等国对我国芯片行业打压的大背景下,碳化硅切割金刚线的国产化就特别迫切。然而碳化硅晶圆价值高,要求切割低风险、高质量,对金刚线的质量要求就极为严苛。
黄河旋风作为超硬材料龙头企业,充分发挥全产业链覆盖的优势,多部门协同研发,利用其从日本住友引进吸收的金刚线设备和技术,深入开展金刚石线锯对碳化硅的切割机理研究,重点对切割中金刚石的失效机理进行深入挖掘,适配了专用金刚石及微粉,确保了该产品优异的切割能力以及材料、产品质量的稳定性。
![](http://dingyue.ws.126.net/2022/0928/f7293d26p00riwyzm000sd20088001tg00hf003t.png)
黄河旋风碳化硅切割专用金刚线线径均匀、线丝圆度好、磨料分布均匀、出刃高。
![](http://dingyue.ws.126.net/2022/0928/168a0bd7j00riwyzn006ad200cu008ig00ez009x.jpg)
![](http://dingyue.ws.126.net/2022/0928/88611c3aj00riwyzn002ud2008w0092g006o006s.jpg)
![](http://dingyue.ws.126.net/2022/0928/9b91023bj00riwyzo002yd2008p008pg006t006s.jpg)
在6英寸绝缘型及导电型碳化硅晶体的切割过程中,线弓小、无断线,切割后晶面平整无线纹,切割用线量介于500-800m/片。
![](http://dingyue.ws.126.net/2022/0928/fe2ab513p00riwyzo0054d200r8003zg00hf002j.png)
经多家客户的切割使用验证,切割后线径磨损均匀,均取得稳定的切割数据,且可获得同等于砂浆切割的晶片质量,可大幅提升切割效率降低生产成本。
附表
![](http://dingyue.ws.126.net/2022/0928/99edfb03j00riwyzp000md200g000e7g00hf00fg.jpg)
![](http://dingyue.ws.126.net/2022/0928/9a383c82j00riwyzq002sd200eu00d6g00eu00d6.jpg)
来源:黄河实业集团
名企推荐
相信品牌的力量!
▌版权声明:原创文章转载请联系yuanfa312(微信)
如有侵权请联系删除
15713673960(李经理)
17719880059(牛经理)
▌文章投稿:yuanfa312(微信)
热门跟贴