半导体设备国产化率逐年提升—2021年市场回顾以及2022年基本情况|工业协会

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于国人而言，最关心的半导体设备或者最在意的半导体设备就是光刻机。不过，在半导体整体产业体系上，设备显然不只是光刻机，还有很多其它关键设备和零部件。近年来，为实现集成电路等产业的自主可控，中国半导体设备领域的国化率逐年提升。在近日举行的第十届（2022年）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会的高峰论坛上，中国电子专用设备工业协会常务副秘书金存忠向大会作了《中国半导体设备回顾与展望》的主题报告，以详实的数据全面介绍了2021年中国半导体设备产业的发展情况，以及2022年的发展趋势。金副秘书长指出，2022年半导体设备的国产化率将从2021年的20%提升到25%。以下为其报告内容的精华分享。

2021年中国半导体设备行业保持快速发展趋势

2021年是国家的“十四五”规划的开局之年，面对新冠疫情、世界经济衰退、以及中美贸易战的外部压力加大，中国半导体设备行业，在国内市场的推动下，继续保持了快速发展的态势。主要得益于：一是国内集成电路和光伏市场扩产加速，这两大领域的投资带动了设备的需求；二是中美贸易战给国产设备带来了市场机遇。这两大因素推动了国内半导体设备产业和行业的快速发展。

据中国电子专用设备工业协会对中国大陆59家半导体设备制造商的统计，2021年半导体设备销售收入总额为385.97亿元人民币，同比增长58.9%，行业总利润达51.92亿元人民币。同比增长73.3%。其中集成电路设备销售为171.47亿元人民币，同比增长77.2%；晶硅太阳能电池设备销售为173.81亿元人民币，同比增长44%；另加，发光二极管设备为19.05亿元人民币，同比增长112.6%，分立器件与其它半导体设备销售为21.65亿元人民币，同比增长31.4%。

而具体到企业，2021年中国半导体设备销售收入前十名，完成了295.33亿元人民币的销售，占59家半导体设备企业制造商收入总额的76.7%，与2020年中国半导体设备前十家企业完成销售收入相比增长了53.72%。前三名分别是北方华创、深圳捷佳伟创、浙江晶盛，对应的收入分别为75.8亿、48.82亿、以及46.14亿。处于第一位北方华创，增幅较大，同比增长72.8%。

2021年，中国共进口了13类半导体设备，总额为170.5亿美元。值得注意的是，光伏设备已实现95%的国产化率，基本不需要进口。具体到进口设备来说，排在前两位是等离子体干法刻蚀机，进口台数为1947台，第二位是化学气相沉积设备（CVD），进口台数为1965台，同比增长分别为52.6%、62.5%。至于外界更多关注的光刻机，则排在第五位，进口数为406台，同比增长则为69.9%。排在最后的则是硅单晶炉，这说明硅单晶炉已经完全国产化，或者说基本完成了国产替代。

2021年中国半导体设备取得的具体新进展

其一：四项半导体设备获第十五届半导体创新产品。分别是上海微电子装备（集团）股份有限公司的激光退火设备、江苏微导纳米科技的凤凰300先进原子层积镀膜设备、浙江晶盛机电的单片式硅外延生长炉以及北方华创的8英寸双频电感耦合等离子刻蚀设备；

其二：北方华创300mm立式低温退火炉以及其它企业的等20项半导体设备创新产品进入产业化；

其三：等离子体干法刻蚀机、氧化扩散/热处理设备、清洗设备、去胶机、化学机械抛光机等五项集成电路设备国产化率超过20%；

其四：国产晶硅太阳能电池片设备继续保持快速增长。具体表现在，2021年，光伏企业加快进行更先进的TOP Con 电池片生产线的改造和太阳能大尺寸单晶硅片扩产速度，从单晶硅生长、硅片切割、清洗设备到 TOP Con电池片生产线设备全部采用国产设备。2021年13家制造商销售收入同比增长44%；

其五：Mini LED 关键设备进入产线。2021年与Mini LED相关的笔记本电脑，电视、显示器等产品不断涌现，带动了Mini LED需求再次升级，也带动了Mini LED关键设备的发展；

其六：集成电路设备核心部件产业化得到较快发展。2021年半导体设备核心部件腔体、干泵、净化机械手、气体质量流量计、尾气处理器、石英制品、密封部件等批量进入集成电路设备，实现了产业化。

但总的说来，国产半导体设备市场占有率还是较低。根据SEMI报告，2021年全球半导体设备销售额激增，同比增长44%，达到了1026亿美元的历史新纪录，中国大陆第二次成为半导体设备的最大市场，销售额增长58%，达到296亿美元。但2021年，中国半导体设备（58家制造商）销售额为58亿美元，在全球半导体设备市场的占有率不到5.65%，在中国大陆市场的占有率为19.6%。因此，总体上，集成电路关键设备还是依赖进口、集成电路关键设备进口零部件占比仍较大。

2022年上半年中国半导体设备经济运行情况

根据中国电子专用设备工业协会对半导体设备行业内62家规模以上制造商2022年上半年经济运行情况的统计，半导体设备销售继续保持快速增长。其中半导体器件生产设备销售完成17887台套，销售额为226.28亿元人民币，同比增长50.5%。前三名企业依然是北方华创、浙江晶盛、深圳捷佳伟创。

与此同时，2022年1-9月，据海关统计，中国大陆13类半导体设备进口额达125.56亿美元，同比减少1%，预计全年进口额将达170亿美元，与2021年基本持平。这其中，国人高度关注的光刻机，全部来自荷兰与日本两个国家。

值得注意的是，国产设备中标率继续增长。今年1-4开标的401台设备中，源自中国大陆厂商制造的设备共计97台，占比达24.2%。其中干法去胶国产率高达71%，刻蚀设备国产设备占比超过一半。综合来看，国内厂家在刻蚀、清洗、干法去胶、涂胶显影等设备环节话语权提升，有的环节已经成为主要设备供应商。

其它两个领域，2022年太阳能电池片产线扩产将加速，预计2022年中国晶硅太阳能电池片生产设备将增长40%左右，销售收入达170亿元人民币左右。Mini LED和Micro LED 设备也将呈增长态势。该领域国产生产线部分关键设备已开始进入量产生产线，2022年LED芯片设备平稳增长16%左右，销售收入将达21亿元人民币。

因此，总体推测，2022年，国产半导体设备销售将达400亿元人民币，国内市场占有率或者国产化率将从20%提升至25%。