微波发生器（微波振荡器）就是利用频率合成技术产生需要的频率或波形信号的仪器。

微波能通常由直流电或50MHz交流电通过一特殊的器件来获得。

可以产生微波的器件有许多种，但主要分为两大类：半导体微波器件和电真空微波器件。

电真空器件是利用电子在真空中运动来完成能量变换的器件，或称之为电子管。其实也就是一种：一种晶体管,或者电子管。

市场上常用的电真空器件即真空磁控管，其结构简单，但是频率不能变而且输出功率不太稳定，而且容易损坏，更换频率高，人工维护成本就大了。

而近年来兴起的半导体微波器件就先进很多了，如国内厂家沃特塞恩研发的固态微波源，也叫固态功率源，这是一种新型的微波发生器，它采用的是全固态半导体来激发微波能量，使用过程中其频率、相位、功率都可以实时反馈并实时调整，且寿命是磁控管的数十倍，节省成本。

微波源
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微波源

目前在国内外固态微波源已经替代磁控管用于一些专业性和针对性比较强的领域了，比如医疗领域中的MRI（核磁共振成像设备）和微波消融治疗/理疗仪等，在工业领域如MPCVD微波等离子体化学气相沉积和等离子清洗等。