对萧道成来说，各方主要政敌都被消灭殆尽，取代刘宋自建王朝已经是早晚的事。但萧道成却没有急于求成，而是一步步迈着自己的步子。
从昇明二年（公元478年，北魏太和二年）九月开始，萧道成开始安排自己的子孙亲信们担任要职。三子萧映被任命为南兖州刺史，四子萧晃被任命为豫州刺史。到了昇明三年（公元479年，北魏太和三年）又任命长子萧赜为尚书仆射，晋升封号为中军大将军、开府仪同三司。任命次子、江州刺史萧嶷为都督荆湘等八州诸军事、荆州刺史，任命尚书左仆射王延之为江州刺史，任命长孙、给事黄门侍郎萧长懋为雍州刺史。任命次孙、安南长史萧子良为都督会稽等五郡诸军事、会稽太守。
其中对萧嶷的任命尤为关键，荆州是沈攸之起兵之地，他在那也经营多年。但先前沈攸之准备聚众起事的时候，允许百姓互相告发，因此获罪服役的士人和平民甚为众多。萧嶷到荆州赴任以后，开始收买民心，在一天以内就遣散了三千多人。刺史府与州衙中礼仪器物的陈设，都力求保持俭省节约，又能放宽刑罚，减少赋役，所以本州百姓大为欢悦，荆州也被萧道成父子牢牢掌控。
随后萧道成加速了篡位的步伐，这年二月甲午日（二十二日），刘准颁诏重申以前的命令，让萧道成朝拜时，不必自己称名。三月甲辰日（初二），又任命萧道成为相国，总领百官，并以十郡之地给他晋爵为齐公，颁赐九锡，并让他仍然担任骠骑大将军、扬州牧、南徐州刺史。随后刘准又颁诏决定，齐国的官职爵位和礼典仪式，一概仿效朝廷。并让萧赜兼任南豫州刺史。
刘氏宗族当然不想坐以待毙，刘义庆的孙子、临川王刘绰想利用杨运长被杀之事，想联合杨运长好友、凌源县令潘智造反。谁知潘智当即把这番话向萧道成禀告。刘绰兄弟及其党羽最终被杀，刘氏宗室彻底掀不起波澜了。
四月壬申朔（初一），萧道成晋爵为齐王，并增加十个郡的封地。同月辛卯日（二十日），刘准正式颁诏要将帝位传让给萧道成，其实大家都明白，这不是刘准的本意。次日刘准应当到殿前去会见百官，但他不肯出面，却逃到佛像的宝盖下面。王敬则率领军队来到宫殿的庭院中，抬着一顶木板轿子入宫，去迎接刘准。
这下子太后也害怕了，便亲自率领宦官找到了刘准，王敬则劝诱刘准，让他从宝盖下面出来，领着他上了轿子。刘准止住眼泪，对王敬则说：“你们准备杀死我吗？”王敬则说：“只是让你到另外的宫殿中居住罢了。您家先前取代司马氏一家也是这样做的。”
司马氏一族的命运刘准是明白的，他掉着眼泪弹着食指说：“但愿我今后生生世世永远不再生在帝王家中！”宫中的人们都哭泣起来。刘准拍着王敬则的手说：“如果不发生意外，就赠送给你十万钱。”
当天，百官为萧道成陪席，由于侍中谢朏不配合，萧道成便让王俭担任侍中，解送玺印。礼典结束以后，刘准坐着彩漆画轮的车子，出了东掖门，前往太子的府邸。随后司空兼太保褚渊等人捧上玺印，率领百官前往齐王宫请萧道成即帝位。
萧道成假模假样推辞谦让，没有接受。最后架不住群臣劝谏，接受了。四月甲午日（二十三日），萧道成在建康南郊即帝位，改国号为齐。萧道成回宫以后，大赦天下罪囚，更改年号为建元。萧道成又封刘准为汝阴王，优待尊崇汝阴王的礼典，完全效仿刘宋初年的做法。又在丹阳为刘准修筑宫室，并设置兵力守卫。
至于刘宋诸帝的神位则都被迁移到汝阴庙中，刘宋诸王都被降爵为公。至于其他爵位，如果没有为齐室出力，公侯以下一律削除国号，唯独设置南康、华容、萍乡三国，以便奉养刘穆之、王弘与何无忌的后人，一时间削除国号的诸王计有一百二十人。刘宋官员仍然保持原来的职位，对于官名称谓不同和官员超过名额的情况，另外再加详细计议。
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