3月21日

天津市总工会发布

“我市推荐2023年全国五一劳动奖和

全国工人先锋号候选对象名单公示”

津南区华海清科首席科学家路新春上榜

全国五一劳动奖章候选个人

路新春 华海清科股份有限公司董事长、首席科学家

主要事迹

路新春，男，1966年出生，无党派人士，工学博士，华海清科股份有限公司董事长、首席科学家，清华大学机械工程系首席研究员，清华大学长江学者特聘教授，国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新创业人才，国际ICPT执委。曾获得全国机械工业劳动模范、国家科技进步二等奖、国家自然科学二等奖，以及天津市技术发明一等奖、中国机械工业科学技术发明特等奖、中国创新“好设计”金奖等省部级奖项及荣誉10余项。

路新春同志长期从事集成电路高端装备制造相关的理论、技术研究及产业化，是我国集成电路抛光、减薄技术发展和产业化的重要推动者。他经过20年艰苦努力，带领团队走过了从基础研究、到关键技术攻关、再到产品开发与产业化的全过程，取得了一系列突破性原创成果，研制出我国第一台12英寸CMP商业机型设备、第一台12英寸超精密减薄设备及系列产品，解决了核心技术“卡脖子”问题。他探索出一条本土化自主技术与产业融合的新模式，创建了国内化学机械抛光设备龙头企业并于科创板成功上市，带动培育了产业自主国产供应链，产品获得国内高端客户广泛认可，打破了国际大厂的垄断，为我国集成电路产业创新发展做出突出贡献，取得了良好的经济效益及社会效益。

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综合 | 天津市总工会