深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，为光伏真空设备、科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。

爱德华Edwards半导体干泵iXL120、iXL600(N) 和 iXL1000(N) 介绍

适用于严苛应用的大型 iXL 干泵 iXL1000：紧凑型低能量的干泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的Z小且Z安静的泵之一。此产品 在高 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保适用于严苛应用的大型 iXL 干泵 可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。

iXL 系列是系列紧凑型干泵，适用于轻量应用，例如晶片处理、PVD 和计量。

快速腔体抽空和极低功耗

iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵是轻量应用中小、安静的泵之一

iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固，设计用于电介质（氧化）蚀刻和其他类似应用

iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵具有高抽取速度和的特点

iXL900R 是目前同类产品中速度快的负载锁定泵，用于 FPD 负载锁定应用。使用这种泵，客户可以降低其运营成本和安装时间，特别适用于等离子体气相沉积 (PVD) 应用的负载锁定腔室。此外，每个负载锁定腔室需要的泵会更少，从而减少了客户的安装时间、系统化成本、维护和公共设施消耗。

“绿色模式”可减少闲置期间的公共设施使用、降并有助于提高环境绩效

iXL 干式真空泵机组

iXL 系列干泵满足平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。

这些性能的泵旨在限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须维护。

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