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四氟化硅属于有毒气体，其充装单位需要取得移动式压力容器/气瓶充装许可证。
1、四氟化硅的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》《危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全监察条例》的相关规定。
2、包装四氟化硅的气瓶应符合GB5099的规定。
3、推荐使用经过内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推荐使用CGA330。
4、应防止瓶口被污染和泄漏。
5、四氟化硅的充装应符合GB 14194的相关规定。
6、四氟化硅的包装标志应符合GB 190的相关规定,颜色标志应符合GB 7144的规定,标签应符合GB 16804、GB 15258规定的要求。
7、包装容器上应标明“电子四氟化硅”字样。
8、四氟化硅的保存期限按GB/T 26571规定执行。

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9、四氟化硅出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括:
——产品名称、生产厂名称;
——生产日期或批号、充装质量(kg);
——本标准编号及技术指标检验员号。
10、四氟化硅产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,严禁曝晒,远离热源、油污环境,定期用卤素检漏仪检查、消漏。