三星电子已开始开发“智能传感系统”，旨在提高产量并改变半导体工厂的运营方式。该系统主要用于实时监控和分析生产过程，目前可以自动处理等离子体均匀性。三星最终计划到2030年使其芯片工厂无需人工操作，实现完全自动化。

三星的最终目标是到2030年拥有完全无人化的半导体生产设施。实现这一目标需要开发能够管理大量数据并自动优化设备性能的系统。智能传感系统是该计划的重要组成部分，预计将在使这些智能、全自动晶圆厂成为现实的过程中发挥至关重要的作用。三星目前正在向智能传感器等项目投资数千万韩元，并希望获得长期投资回报。

目前正在开发的智能传感器旨在测量晶圆上等离子体的均匀性。因为半导体制造中的蚀刻、沉积和清洗等工艺的结果很大程度上受到等离子体均匀性的影响，因此在这方面的精确测量和管理至关重要。

该智能传感系统的开发是团队合作的成果，涉及合作伙伴和学术机构的合作。这些新型传感器的重要特点是它们的尺寸很小巧：可以安装到现有的晶圆厂中，并且不需要额外的空间，这在洁净室中非常宝贵。

值得注意的是，这些传感器是在韩国设计和制造的。三星等韩国芯片制造商传统上严重依赖外国设备来实现此类先进工艺。开发自主的智能感知系统标志着这一依赖关系的显著改变，尽管三星使用的大多数设备仍在国外生产。

编 辑：路金娣