证券之星消息,根据企查查数据显示上海新阳(300236)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆转移装置”,专利申请号为CN201611264253.5,授权日为2024年1月12日。
专利摘要:本发明公开了一种晶圆转移装置,其包括支撑台、托盘、第一机械臂和第二机械臂;所述支撑台设置有通孔,所述支撑台可升降地设置;所述托盘固定设置于所述支撑台下方,所述支撑台升降降过程中使所述托盘自所述通孔穿过;所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置,用于共同夹持晶圆;所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方;所述第一机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。本发明利用托盘固定、支撑台的升降取放晶圆,自动化程度高,可代替人工转移晶圆,劳动强度小且效率高,可适应大规模生产的需要。本发明使用导向装置,可确保各部件的运行稳定,防止损坏晶圆。
今年以来上海新阳新获得专利授权3个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了6400.07万元,同比增22.69%。
数据来源:企查查
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