金融界2024年1月24日消息，据国家知识产权局公告，杭州长川科技股份有限公司申请一项名为“探针台扎针修正方法、装置、探针台及电子设备“，公开号CN117434321A，申请日期为2023年9月。

专利摘要显示，本申请涉及一种探针台扎针修正方法、装置、探针台及电子设备。该方法包括：操作电机带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第一图像；基于第一图像，判断针痕是否发生线性偏移；若是，则基于第一图像确定针痕的线性偏移量，根据线性偏移量确定线性修正值；根据线性修正值对探针台进行线性修正；操作电机带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对线性修正后探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第二图像；基于第二图像，判断针痕是否发生角度偏移；若是，则基于第二图像确定针痕的角度偏移量，根据角度偏移量确定角度修正值；根据角度修正值对探针台进行角度修正。采用本申请，可以减少扎针误差、提高扎针精度。

本文源自金融界