1.工件的摆放方式

真空热处理畸变小是其一大优点。但工件摆放方式不同，其畸变量也不同。同时，工件的摆放方式对硬度均匀性也有重要影响。由于真空热处理是以辐射方式加热的，摆放方式不好势必遮挡严重，加热效果受影响。因此，工件的摆放应有利于气流的通路（气淬时）和油的循环（油淬时)，工件与工件之间应有一定的间隙。这样,可使料筐中各部位的硬度均匀一致，对于细长杆应有适当的夹具,能够悬挂放置的尽量悬挂，这样，在高温时可减少畸变。壁厚不均的工件要考虑正辐射和背辐射的差异，要合理摆放，尽可能保证各部位升温一致，减少畸变。

2.真空淬火工艺的选择

选择合适的加热工艺对热处理效果有很大影响。多次预热淬火工件的硬度均匀性比一次预热好，回火后二次硬化效果好。同时，多次预热淬火处理的工件畸变小，碳化物组织细小均匀。这是由于多次预热缩小了工件表面与心部的温度梯度，奥氏体化程度高。这样就使奥氏体成分均匀，使随后的淬火硬度均匀，同时又使回火的碳化物弥散析出，显示二次硬化效果。由于温度梯度的减小，热应力随之减小，对减少畸变是有利的。对于Cr12MoV钢及GCr15钢而言，适当提高预热温度，可提高加热速度，缩短加热时间并不致使晶粒粗大，降低了生产成本。

3.合适的油温及搅拌速度

合适的油温和搅拌速度有利于减少工件畸变，WZ型真空淬火炉油搅拌速度为双速，一般淬火时选用低速搅拌即可。

4.合适的充氮压力

充氮压力对于工件的畸变也有一定的影响，在高速钢气淬时，为了提高其淬透性，可以适当提高其充氮压力。其他材料在油淬时随充氮压力的降低，工件畸变减小，但是，淬火时随压力的降低，油沸腾阶段降低,淬火油的特性温度下降，冷却能力降低，这势必影响到淬火硬度,所以，应合理地选择充氮压力以调节冷却速度，使在保证足够硬度的前提下，尽量减小畸变，节约氮气。