金融界2024年5月1日消息,据国家知识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“一种晶圆级封装结构及其制作方法、电子设备“,公开号CN117954403A,申请日期为2022年10月。

专利摘要显示,本申请实施例提供了一种晶圆级封装结构及其制作方法、电子设备。晶圆级封装结构包括依次层叠设置的基材层、墙膜和顶膜,墙膜在和切割侧面同向的一侧具有避让槽,避让槽的侧面和切割侧面间隔设置。在晶圆切割时,切割刀经过顶膜和基材层的位置而不触碰墙膜,墙膜的避让槽能避让切割刀,避让槽可阻挡或降低切割正应力传递至空腔附近的墙膜,降低墙膜和基材层之间分层,使墙膜和基材层更好地结合,空腔封闭性更佳,提升结构可靠性和生产良率。在墙膜上设置顶膜时,顶膜可部分挤进墙膜的填充槽内,增加墙膜和顶膜间的结合面积以提升结合强度,在晶圆切割时可阻挡或降低沿垂直于切割侧面的方向上的剪切力,满足晶圆级封装结构小型化。

本文源自金融界