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上银LMAS汽浮直线电机平台

LMAS汽浮直线电机平台

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特征

重现精度：±0.3μm

绝对精度：±3μm

水平直线度：±1μm

垂直直线度：±1μm

俯仰：±2arc-sec

偏摆：±2arc-sec

适用于洁淨室

低速度涟波

基本信息规格尺寸配置/性能参数

空气轴承定位平台

针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承定位平台。领先同业采用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术，可于千分之一秒内达到奈米误差内要求，大幅减少运动整定时间与组件磨耗率，提升设备生产力与可靠性。完整智能化远程系统侦测与全球客服支持提供，帮助客户大幅缩短设备开发时程，节省许多整合时间与成本，使其更聚焦本身关键制程Know-how。

空气轴承

非接触式空气轴承LMAS

非接触式空气轴承提供更佳的定位精度

嵌入式磁性预压设计，提升稳定性

提供极平滑的运动与快速的整定时间

无铁芯式线性马达，无磁顿力

高解析回馈搭配线性光学编码器

提供高绕性的缆线管理

适用于洁淨室 ，无需润滑好保养

低速度涟波

应用于精密定位、校验系统、扫描应用、晶圆检测、无尘环境

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可根据客户现场尺寸要求订制

江苏勃曼工业控制技术有限公司

相关问题：

1、试述滚珠丝杠的支撑方式

滚珠丝杠的支撑方式一般分为两种：1. 固定式支撑方式：滚珠丝杠的固定端采用轴承或者支撑座固定，滚珠丝杠的运动端则采用轴承支撑。这种支撑方式具有结构简单、安装方便、刚度高、精度稳定等优点，适用于小型的滚珠丝杠。2. 浮动式支撑方式：滚珠丝杠的固定端和运动端都采用轴承支撑，但是运动端的轴承可以浮动，可以在一定范围内适应轴的偏心和弯曲等变形。这种支撑方式具有刚度低、精度稳定性差等缺点，但是适用于大型的滚珠丝杠，可以提高滚珠丝杠的可靠性和寿命。

2、滚珠丝杠螺母硬度

滚珠丝杠螺母通常采用高硬度的材料制造，如合金钢、不锈钢等。其硬度通常在HRC40-50之间，具有较好的耐磨性和耐腐蚀性。同时，滚珠丝杠螺母的硬度也会随着使用时间的增加而逐渐降低，因此需要定期检查和更换。

3、兴化sgb滚珠丝杠升降机

兴化sgb滚珠丝杠升降机是一种用于物料升降的设备，主要由电动机、减速机、滚珠丝杠、导轨等部件组成。该设备可用于货物的升降、装卸、物料输送等作业，广泛应用于工业、矿山、仓储、物流等领域。该升降机采用滚珠丝杠传动，具有精度高、噪音低、寿命长等优点，可根据不同的使用场合和需求，选用不同的控制方式，如手动控制、自动控制等。兴化sgb滚珠丝杠升降机的操作简便、安全可靠，可根据用户的不同需求进行定制，满足用户的不同需求。

4、江苏86贯通式滚珠丝杠

江苏86贯通式滚珠丝杠是一种高精度的机械传动装置，广泛应用于机械制造、精密机械加工、数控机床、自动化生产线等领域。该产品采用贯通式设计，滚珠与导轨接触面积大，承载能力强，传动效率高，寿命长。同时，该产品还具有精度高、噪音低、运动平稳等优点，可以满足各种高精度传动需求。

5、滚珠丝杠原理视频教学讲解

滚珠丝杠是一种常见的传动装置，它利用滚珠和丝杠的配合来实现转动运动转化为线性运动，其原理可以简单概括为以下几点：1. 滚珠丝杠由丝杠和螺母组成，丝杠上有一定间隔的滚珠插在螺母内的滚道中。2. 当丝杠旋转时，由于滚珠与滚道的配合，滚珠沿着滚道滚动，从而带动螺母沿着丝杠的轴向移动。3. 由于滚珠与滚道的接触压力较小，滚珠能够以较小的摩擦阻力在滚道上滚动，从而实现高效的传动。4. 滚珠丝杠的传动精度和重复定位精度都比较高，适用于需要高精度线性运动控制的场合。总之，滚珠丝杠的原理是利用滚珠和滚道的配合实现丝杠旋转运动转化为螺母轴向移动的线性运动，从而实现高效、高精度的传动。