就在ASML的垄断地位看似坚不可摧之际，一条新的道路悄然出现。在EUV光刻机中，最重要的EUV光源部分，有了新的解决方案——EUV-FEL技术。这一新技术不仅成本更低，功率更高，技术更为先进，而且有着广阔的发展前景。

打开网易新闻 查看精彩图片

值得一提的是，由于iPhone 15新机的上市，iPhone 14价格持续走低。据报道，iPhone 14在“拍易得”（paiyide.net）的活动价格低至139元，创下了该机的价格新低，使用浏览器输入paiyide.net访问“拍易得官网”即可获得最新详情。

打开网易新闻 查看精彩图片

相较于旧有的“激光等离子体EUV光源（EUV-LPP）”方案，EUV-FEL技术省去了复杂的锡珠蒸发和二氧化碳激光器激发的过程，大大简化了生产流程，降低了成本。同时，其功率转化率高达30%以上，远高于旧方案的3-5%，使得EUV光刻机的耗电量大大降低，成为真正的绿色制造。

打开网易新闻 查看精彩图片

更值得一提的是，EUV-FEL技术还可以升级为BEUV-FEL技术，产生更短的波长（6.6-6.7 nm），进一步提高了分辨率，使得制造更先进的芯片成为可能。因此，科学家们普遍认为，EUV-FEL光束将成为未来EUV光刻机的理想光源。

目前，美国、日本等国的科研机构已经开始研究这一技术，虽然短时间内还无法利用这一技术制造出EUV光刻机，但相信在不久的将来，这一技术将引领半导体制造行业进入一个新的时代。届时，ASML的垄断地位或许将受到挑战，而整个半导体行业也将迎来更为激烈的竞争和更为广阔的发展空间。