金融界 2024 年 7 月 9 日消息,天眼查知识产权信息显示,北京赛微电子股份有限公司申请一项名为“声表面波谐振器及其制备方法”,公开号 CN202410516987.6,申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示,本申请实施例提供一种声表面波谐振器及制备方法,涉及微电子技术领域,其中,声表面波谐振器包括:衬底,所述衬底的一侧设置有凹槽;布拉格反射镜,设置于所述衬底具有凹槽的一侧,所述布拉格反射镜靠近所述凹槽的一侧与所述凹槽用于形成空腔;压电膜层,设置于所述布拉格反射镜背离所述衬底的一侧;叉指换能器电极,设置于所述压电膜层背离所述布拉格反射镜的一侧。利用布拉格反射镜以及它与衬底凹槽之间形成的空腔,能够减少纵波的泄漏,降低了声表面波谐振器的能量损耗,继而提高了声表面波谐振器的 Q 值。
本文源自:金融界
作者:情报员
热门跟贴