格隆汇7月16日|据韩媒The Elec,韩国半导体公司周星工程(Jusung Engineering)最新研发出原子层沉积(ALD)技术,可以在生产先进工艺芯片中降低极紫外光刻(EUV)工艺步骤需求。周星工程董事长Chul Joo Hwang表示,当前DRAM和逻辑芯片的扩展已达到极限,因此需要像NAND一样,通过堆叠晶体管的方式克服这个问题。半导体行业如果想要把晶体管微缩到更小尺寸,一种方案就是堆叠晶体管,其中一个佐证是深紫外线(DUV)设备有望用于生产3D DRAM。Hwang称,随着堆叠变得越来越重要,ALD机器的需求也将增加。III-V和IGZO半导体的生产也需要ALD设备。
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