金融界 2024 年 7 月 26 日消息，天眼查知识产权信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司取得一项名为“一种用于直写光刻机曝光工序的纠偏对位方法“，授权公告号 CN114624970B，申请日期为 2022 年 2 月。

专利摘要显示，本发明涉及直写光刻机领域，公开了一种用于直写光刻机的纠偏对位方法，可以降低贴片精度的方式提高产能，通过介质层对芯片贴片时产生的偏移量进行纠偏，一方面对芯片贴片精度的要求更宽，同时不影响生产良率，确保芯片功能正常，另一方面可解决高精度贴片机产能的问题。

本文源自：金融界

作者：情报员