金融界 2024 年 8 月 20 日消息，天眼查知识产权信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“一种定位补偿方法、系统及设备“，公开号 CN202410428767.8，申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示，本申请属于半导体制造技术领域，提供一种定位补偿方法，通过极坐标运动平台调整预测样品的位置，使预测样品的凹槽标记与极坐标系极轴重合，根据极轴和极坐标系运动平台形成第一坐标系，获取预测样品的第二坐标系并计算得到两者间的坐标转换矩阵，根据坐标转换矩阵计算得到预测样品目标点 M 的第一坐标信息，根据第一坐标信息调整预测样品位置使目标点 M 移动至偏差点 M1 处，获取偏差点 M1 的偏差坐标信息，根据偏差坐标信息计算得到目标点 M 的第二坐标信息，根据第二坐标信息对目标点 M 进行定位补偿，消除了极坐标运动平台的定位误差，本申请还提供一种定位补偿系统及设备，采用上述定位补偿方法进行极坐标运动平台的定位补偿。

本文源自：金融界

作者：情报员