金融界 2024 年 9 月 11 日消息,天眼查知识产权信息显示,罗博特科智能科技股份有限公司申请一项名为“硅片传输装置“,公开号 CN202410917321.1,申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种硅片传输装置,用于从第一缓存机构中取片和/或向第二缓存机构中入片,包括安装板、设置在所述安装板上的气动悬浮机构和驱动机构,所述气动悬浮机构包括汽浮板组件,所述汽浮板组件的顶部设置有供气体流出的出气孔;所述驱动机构包括传送履带以及驱动所述传送履带运动的驱动组件,所述传送履带上设置有与硅片侧面接触的挡块,所述驱动机构位于硅片长度或宽度方向的两侧,所述传送履带沿水平方向转动;两个所述传送履带之间的间距大于所述硅片的长度或宽度。本发明的传输装置,将传送履带设置在硅片的两侧之外,两个传送履带之间的间距大于硅片的宽度或长度,使得履带上的挡块接触硅片后方侧面,推动硅片向前移动。

本文源自:金融界

作者:情报员