金融界2024年9月15日消息,天眼查知识产权信息显示,重庆臻宝科技股份有限公司取得一项名为“一种J-R型静电卡盘及其制备方法与应用“,授权公告号CN118186332B,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本发明公开一种J‑R型静电卡盘及其制备方法与应用,J‑R型静电卡盘的制备方法的制备方法包括如下步骤:首先,按质量百分比计,氧化铝68‑73%,氧化钇17‑20%,氧化钛7‑14%;按配比称取所需要的氧化铝、氧化钇和氧化钛,进行研磨成粉并混合得混合粉末A;然后将混合粉末A与纯水的质量比按照为1:2进行均匀搅拌,并向水中加入适量的分散剂和粘合剂,进行喷雾造粒,得到造粒粉末B;最后依次将绝缘层、电极层和造粒粉末B进行等离子喷涂至铝基材上,得到自下而上依次为铝基材、绝缘层、电极层和电介质层的J‑R型静电卡盘。本发明制备的J‑R型静电卡盘具备优异的静电吸附力和解吸附响应。此外,造粒粉末B进行等离子喷涂后形成电介质层,也具备良好的耐蚀性和耐电压性。

本文源自:金融界

作者:情报员