金融界 2024 年 9 月 15 日消息,天眼查知识产权信息显示,联合微电子中心有限责任公司取得一项名为“硅光调制器及其形成方法“,授权公告号 CN113960818B,申请日期为 2020 年 12 月。

专利摘要显示,一种硅光调制器及其形成方法,所述方法包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底的表面进行刻蚀以得到脊型结构,所述脊型结构具有相邻的 P 型掺杂区域以及 N 型掺杂区域;其中,沿所述脊型结构的轴向方向,单位长度内所述 P 型掺杂区域以及 N 型掺杂区域之间的交界面积逐渐增大。本发明可以在沿脊型结构的轴向方向上,保持 PN 结性能参数的稳定,从而保证调制器沿轴向有均匀的特征阻抗和群折射率,进而提高调制器的调制效率、器件带宽及整体性能。

本文源自:金融界

作者:情报员