金融界 2024 年 9 月 17 日消息,天眼查知识产权信息显示,浙江众凌科技有限公司申请一项名为“一种金属掩膜版固定转移装置以及使用方法“,公开号 CN202410957689.0 ,申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示,本发明公开一种金属掩膜固定转移装置以及使用方法,涉及金属掩模版转运技术领域,包括转移部件;抓取机构,所述抓取机构安装于转移部件的执行端,其用于吸附固定精细金属掩膜版;两个夹持机构,两个所述夹持机构对称安装于抓取机构的两侧,两个所述夹持机构分别用于夹持固定位于精细金属掩膜版下侧的隔离膜两侧,以实现隔离膜对精细金属掩膜版进行支撑;存放机构,所述存放机构设置于下道工位的一侧。本发明利用两个夹持机构可将位于精细金属掩膜版下侧的隔离膜夹持固定,且将隔离膜拉紧绷直,隔离膜对精细金属掩膜版起到支撑的作用,避免精细金属掩膜版在转运的过程出现弯曲,提高精细金属掩膜版质量。

本文源自:金融界

作者:情报员