金融界 2024 年 9 月 18 日消息，天眼查知识产权信息显示，广州市艾佛光通科技有限公司申请一项名为“一种温度补偿型薄膜体声波谐振器及其制备方法和滤波器“，公开号 CN202411137709.6，申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示，本发明提供了一种温度补偿型薄膜体声波谐振器及其制备方法和滤波器，涉及体声波谐振器技术领域。该制备方法包括步骤：获取单晶的第一衬底并在第一衬底上沉积出单晶氮化铝压电层；在压电层的上方沉积出底电极后，在底电极上沉积出多晶二氧化硅温补层，得到第一半成品；获取第二衬底并开设出凹槽；将第一半成品的温补层键合在第二衬底上并使温补层覆盖凹槽以形成空腔，得到第二半成品；去除第二半成品上的第一衬底并沉积出顶电极，得到成品。本发明的制备方法在避免释放工艺损伤器件的同时避免在多晶二氧化硅的温补层上生长出单晶氮化铝的压电层，以此达到提高压电层晶体质量的效果，实现滤波器性能的提高。

本文源自：金融界

作者：情报员