金融界 2024 年 9 月 25 日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“化学液体分配设备”的专利,公开号 CN 118683194 A,申请日期为 2024 年 2 月。

专利摘要显示,提供了一种化学液

体分配设备,所述化学液体分配

设备包括:头组件,所述头组件

包括通道单元和多个喷嘴,化学

液体流动通过所述通道单元,所

述化学液体从所述通道单元流

动通过所述多个喷嘴,并且所述

多个喷嘴将所述化学液体分配

到衬底上;和管道,所述管道连

接到所述头组件,并且所述化学

液体行进通过所述管道,其中,

所述通道单元包括第一流路和

第二流路,所述第一流路具有分

支结构,所述第二流路连接到所

述第一流路并且向所述多个喷嘴供应所述化学液体。

本文源自:金融界

作者:情报员