金融界2024年9月28日消息,国家知识产权局信息显示,威海华浦电子科技有限公司申请一项名为“一种ITO透明导电膜玻璃的制备方法”的专利,公开号CN 118703966 A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本发明涉及一种ITO透明导电膜玻璃的制备方法,该ITO透明导电膜玻璃的制备方法,包括如下步骤:S1:清洁玻璃衬底,烘干备用;S2:在玻璃衬底上基于溅射条件1生长第一膜层;S3:在第一膜层上基于溅射条件2生长第二膜层;S4:在第二膜层上基于溅射条件1生长第三膜层;S5:退火处理,即得;其中,第一膜层和第三膜层为60‑80nm的ITO高透膜层;第二膜层为60‑100nm的Zr‑Nb共掺杂的I TO高导膜层;且第一膜层和第二膜层生长后分别采用13‑16%的磷酸处理膜层表面10‑15min,之后去离子水冲洗、干燥。该制备方法,通过不同ITO膜层设计和处理,达到了同时优化膜导电性和透过性的目的。

本文源自:金融界

作者:情报员