平晨半导体取得半导体晶圆环上下料装置专利,提高生产效率
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金融界2024年9月30日消息,国家知识产权局信息显示,深圳平晨半导体科技有限公司取得一项名为“一种半导体晶圆环上下料装置”的专利,授权公告号 CN 221777010 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本申请涉及晶圆上下料领域,具体涉及一种半导体晶圆环上下料装置,包括:吸附模组,其用于吸附晶圆环;竖直移动模组,其通过第一连接组件与吸附模组连接,竖直运动模组用于驱动吸附模组沿竖直方向移动;旋转模组,其通过第二连接组件与竖直移动模组连接,用于驱动所述竖直移动模组在水平面转动。通过设置吸附模组、竖直移动模组与旋转模组,可实现晶圆环的自动上下料,提高生产效率,降低生成成本。
本文源自:金融界
作者:情报员
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