金融界2024年10月9日消息,国家知识产权局信息显示,广州奥松电子股份有限公司申请一项名为“一种平板型湿度传感器及其制造方法”的专利,公开号 CN 118746605 A ,申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体制造技术领域,是关于一种平板型湿度传感器及其制造方法,包括:基底、上电极极板、介电层和下电极极板,下电极极板覆盖在基底上;介电层位于上电极极板与下电极极板,其中介电层上设有 N 个感应通孔,上电极极板上设有 N 个透气通孔,且感应通孔与透气通孔一一对应,N 为大于或等于 1 的整数,感应通孔的侧壁用于接触待检测水汽;本申请提供的方案,提高了平板型湿度传感器的响应速度。
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