中国振华集团永光电子申请触发式点火半导体桥芯片制作方法专利,解决现有SCB火工品H桥的相关问题
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金融界2024年10月17日消息,国家知识产权局信息显示,中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)申请一项名为“一种触发式点火半导体桥芯片的制作方法”的专利,公开号CN 118776399 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,一种触发式点火半导体桥芯片的制作方法,属于火工品技术领域。结构包括:硅衬底,桥区,重掺杂多晶硅,金属电极层。方法包括:(1)多晶硅厚度的确定方法;(2)解决光刻胶锯齿的方法;(3)超厚多晶硅厚度的刻蚀方法;(3)超厚金属电极层的刻蚀方法。解决了现有SCB火工品H桥中难以实现超厚多晶硅薄膜、超厚金属电极层刻蚀困难的问题。可广泛应用于SCB火工品火半导体桥芯片的制备中。
本文源自:金融界
作者:情报员
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