金融界2024年10月23日消息,国家知识产权局信息显示,江苏元夫半导体科技有限公司取得一项名为“减薄机”的专利,授权公告号CN 221849585 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开一种减薄机,包括:主轴组件、驱动件、传感器和控制器;主轴组件包括主轴本体、主轴支架、连接件和磨轮;驱动件用于驱动主轴支架沿轴向移动;传感器与连接件固定连接,传感器用于通过连接件获取磨轮的当前磨削力,控制器根据磨轮的当前磨削力控制磨轮的磨削动作。根据本实用新型的减薄机,通过设置传感器和控制器能够实现对减薄机的磨轮的磨削力的实时监测,以实时控制磨轮的磨削动作,还能够使得减薄机在磨削进给的过程中减少空行程的时长,从而提高晶圆的磨削效率;通过在连接件上设置传感器,可以便于对传感器的拆卸和装配,同时,传感器不易受到磨轮反馈的作用力的影响,使得传感器不易损伤,从而能够提高传感器的可靠性。
本文源自:金融界
作者:情报员
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