金融界2024年10月24日消息，国家知识产权局信息显示，宁波市丹科真空科技有限公司取得一项名为“磁控溅射镀膜机中圆柱靶体的快速拆装的双层遮挡装置”的专利，授权公告号CN 221854750 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型属于遮挡装置技术领域，具体涉及磁控溅射镀膜机中圆柱靶体的快速拆装的双层遮挡装置，包括镀膜室主体，所述镀膜室主体的顶部设置有磁控溅射机构，所述镀膜室主体的内侧设置有遮挡装置；所述镀膜室主体包括镀膜室上板，所述镀膜室上板的底部边缘固定连接有镀膜室侧板，所述镀膜室侧板的底部固定连接有镀膜室下板；所述磁控溅射机构包括旋转机构，所述旋转机构的底部设置有靶体。本实用新型遮挡内罩和遮挡外罩均为半圆形，角度均为200度，当关闭遮挡内罩时，遮挡内罩的半圆形正对镀膜室，遮挡内罩和遮挡外罩两边交界处都会有20度的重叠区域，使靶体被完全遮挡住，充分解决靶体之间相互污染的问题。

本文源自：金融界

作者：情报员