金融界 2024 年 10 月 26 日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯绒科技有限公司申请一项名为“MEMS 压力传感器、制备方法及压力检测装置”的专利，公开号 CN 118811767 A ，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本申请涉及传感器技术领域，具体而言，涉及一种 MEMS 压力传感器、制备方法及压力检测装置。其中，MEMS 压力传感器的制备方法，包括提供第一衬底和第二衬底第一衬底具有相对的第一表面和第二表面，第二衬底具有相对的第三表面和第四表面；在第一表面刻蚀出第一凹槽；在第三表面刻蚀出第二凹槽，以形成敏感膜以及设置于敏感膜的侧面的岛梁；将第三表面和第一表面键合，以形成封闭于第一衬底和第二衬底之间的腔体，岛梁位于腔体内，岛梁和第一衬底之间具有间隔，间隔能够允许岛梁在敏感膜变形时向接近第一衬底的方向移动并限制岛梁的移动距离。根据上述方案，可以避免敏感膜因变形过大而损坏，有利于提高传感器的可靠性。

本文源自：金融界

作者：情报员