上海谦视智能科技取得一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台专利,提升晶圆预对准装置的整体功能性
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金融界2024年10月30日消息,国家知识产权局信息显示,上海谦视智能科技有限公司取得一项名为“一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台”的专利,授权公告号CN 221885076 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台,包括支撑组件、光源、检测组件以及对齐相机,所述对齐相机用于拍摄所述晶圆和所述支撑组件的图像,识别所述晶圆的位置和状态,本实用新型可以提升晶圆预对准装置的整体功能性,有助于提升设备的整体效率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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