金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，恒旸股份有限公司取得一项名为“光刻制程一贯化系统”的专利，授权公告号CN 221885062 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开一种光刻制程一贯化系统，该系统包括有多个可前后串接成一条连续制程产线的工作站，每一工作站之间分别设置有机壳、定位校准装置及电连接器，使多个工作站能够可拆装地配合不同规格硅晶圆基板而调整顺序或数量后串接，以连续的方式执行光刻制程，有效克服已知技术机台分散配置与浪费大量人力进行操作和监控的问题，达成提高生产效率、产品良率及节省能源的功效。此外，串接后的多个工作站外部可设置一遮罩，该遮罩内部空间可形成黄光无尘室，可节省空间并且整厂输出，大幅降低半导体产业的门槛，具有非常高的产业价值。

本文源自：金融界

作者：情报员