金融界2024年11月13日消息，国家知识产权局信息显示，安徽熙泰智能科技有限公司申请一项名为“静电吸附掩模板及其制备方法”的专利，公开号 CN 118932281 A，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本发明公开了一种静电吸附掩模板及其制备方法。所述静电吸附掩模板包括：具有像素定义层的第一基板；静电吸附导电层，设置在所述第一基板上，用于从外部静电发生器获得静电荷；静电屏蔽导电层，覆盖所述静电吸附导电层及该侧的第一基板表面，并接地；绝缘层，设置在所述静电吸附导电层和所述静电屏蔽导电层之间。本发明提供的静电吸附掩模板在使用过程中，将静电屏蔽导电层接地，因此电力线只能终止于静电屏蔽导电层和衬底之间，使其无法影响气相沉积材料的分子轨迹，以增加薄膜沉积质量，降低堵孔风险。

本文源自：金融界

作者：情报员