金融界2024年11月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏亚电科技股份有限公司取得一项名为“一种单片晶圆清洗装置的晶圆卡紧盘”的专利，授权公告号CN 222029063 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本申请涉及一种单片晶圆清洗装置的晶圆卡紧盘，驱动盘转动时，通过若干驱动槽作用到所有拨杆上，进而带动所有连杆沿其轴向运动，使所有卡紧柱均能够同时做打开或者收紧动作从而实现卡紧柱抓紧晶圆本实用新型的结构仅需

个驱动件就可以同时驱动所有卡紧柱运动，具有结构简单，能够保证多个卡紧柱的同时动作。同时驱动槽与拨杆的配合，使得整个动作机构不容易发生故障。

本文源自：金融界

作者：情报员